産業(yè)用ロボット向機器
クリーンロボット低真空
5ポートソレノイドバルブ 10-SY
クリーン／低発塵 ? 方向制御機器
クリーンシリーズ
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規(guī)設(shè)備／裝置の設(shè)計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 音速コンダクタンス：C | シリンダ駆動サイズ | 消費電力 (W) |
|---|---|---|---|
| 10-SY3000 | 1.1dm3(s?bar) | φ40 | 0.35 |
| 10-SY5000 | 2.8dm3(s?bar) | φ63 | 0.35 |
| 10-SY7000 | 4.5dm3(s?bar) | φ80 | 0.35 |
| 10-SY9000 | 10dm3(s?bar) | φ100 | 0.35 |
5ポートソレノイドバルブ 10-SV
クリーン／低発塵 ? 方向制御機器
クリーンシリーズ
※EX500シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規(guī)設(shè)備／裝置の設(shè)計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 音速コンダクタンス：C | シリンダ駆動サイズ | 消費電力 (W) |
|---|---|---|---|
| 10-SV1000 | 1.1dm3(s?bar) | φ40 | 0.6 |
| 10-SV2000 | 2.8dm3(s?bar) | φ63 | 0.6 |
| 10-SV3000 | 4.5dm3(s?bar) | φ80 | 0.6 |
| 10-SV4000 | 10dm3(s?bar) | φ100 | 0.6 |
4?5ポートソレノイドバルブ 10-SYJ
クリーン／低発塵 ? 方向制御機器
クリーンシリーズ
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規(guī)設(shè)備／裝置の設(shè)計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 音速コンダクタンス：C | シリンダ駆動サイズ | 消費電力 (W) |
|---|---|---|---|
| 10-SYJ3000 | 0.46dm3(s?bar) | φ25 | 0.35 |
| 10-SYJ5000 | 0.83dm3(s?bar) | φ40 | 0.35 |
| 10-SYJ7000 | 2.9dm3(s?bar) | φ50 | 0.35 |
5ポートソレノイドバルブ 10-SZ
クリーン／低発塵 ? 方向制御機器
クリーンシリーズ
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規(guī)設(shè)備／裝置の設(shè)計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 音速コンダクタンス：C | シリンダ駆動サイズ | 消費電力 (W) |
|---|---|---|---|
| 10-SZ3000 | 0.77dm3(s?bar) | φ32 | 0.6 |
5ポートソレノイドバルブ 10-S0700
クリーン／低発塵 ? 方向制御機器
クリーンシリーズ
※EX250/500シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規(guī)設(shè)備／裝置の設(shè)計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 流量特性 1→4/2（P→A/B） C［dm3/（s?bar）］ | 流量特性 1→4/2（P→A/B） b | 流量特性 1→4/2（P→A/B） Cv | シリンダ 駆動 サイズ | 消費電力（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| 10-S0700 | 0.39 | 0.39 | 0.11 | φ25 | 0.35 |
5ポートソレノイドバルブ 10-VQ
クリーン／低発塵 ? 方向制御機器
クリーンシリーズ
※EX510シリーズは、生産の中止を予定しています。
新規(guī)設(shè)備／裝置の設(shè)計の際は、他のシリーズ（EX260/EX600）の
使用をご検討ください。
| シリーズ | 流量特性 2/4→3/5 (A/B→R1/R2) C [dm3/(s?bar)] | 流量特性 2/4→3/5 (A/B→R1/R2) b | 流量特性 2/4→3/5 (A/B→R1/R2) Cv | シリンダ駆動 サイズ | 消費電力 (W) |
|---|---|---|---|---|---|
| 10-VQ1000 | 1.0 | 0.30 | 0.25 | φ40 | 0.4 (標準) |
| 10-VQ2000 | 3.2 | 0.30 | 0.80 | φ63 | 0.4 (標準) |
5ポートソレノイドバルブ 10-SQ
クリーン／低発塵 ? 方向制御機器
| シリーズ | 音速コンダクタンス：C | シリンダ駆動サイズ | 消費電力 (W) |
|---|---|---|---|
| 10-SQ1000 | 0.83dm3(s?bar) | φ32 | 1.0 |
| 10-SQ2000 | 2.9dm3(s?bar) | φ63 | 1.0 |
4ポートソレノイドバルブ 直動ポペット 10-VQD
クリーン／低発塵 ? 方向制御機器
| シリーズ | 音速コンダクタンス：C | シリンダ駆動サイズ | 消費電力 (W) |
|---|---|---|---|
| 10-VQD1000 | 0.19dm3(s?bar) | φ25 | 2.0 |
3ポートソレノイドバルブ 10-V100
クリーン／低発塵 ? 方向制御機器
| シリーズ | タイプ | 音速コンダクタンス：C | 消費電力 (W) |
|---|---|---|---|
| 10-V100 | 標準タイプ | 0.037dm3(s?bar) | 0.35 ★(0.1) |
| 10-V100 | 大流量タイプ | 0.076dm3(s?bar) | 1.0 |
3ポートソレノイドバルブ 10-SYJ
クリーン／低発塵 ? 方向制御機器
| シリーズ | 音速コンダクタンス：C | 消費電力 (W) |
|---|---|---|
| 10-SYJ300 | 0.36dm3(s?bar) | 0.35 |
| 10-SYJ500 | 1.2dm3(s?bar) | 0.35 |
| 10-SYJ700 | 3.0dm3(s?bar) | 0.35 |
3ポートソレノイドバルブ 10-SY
クリーン／低発塵 ? 方向制御機器
| シリーズ | タイプ | 音速コンダクタンス：C | 消費電力 (W) |
|---|---|---|---|
| 10-SY100 | 標準タイプ | ★0.14mm2 | 0.5 |
| 10-SY100 | 大流量タイプ | ★0.22mm2 | 0.5 |
