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ステンレス製高真空L型/ストレート型バルブ XM/XY
高真空機(jī)器 ? 高真空バルブ
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?ガス溜まりのない精密鋳造一體構(gòu)造。
?アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)
注)ストレート型にサイズ16はありません。
シリーズ | 操作方式 | 軸シール 方式 | 弁形式 | 材質(zhì) | フランジ サイズ |
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XMA/XYA | エア オペレート | ベローズシール | 単動 (N.C.) | ボディ:SCS13(SUS304相當(dāng)) ベローズ:SUS316L | 16~80 注) |
XMC/XYC | エア オペレート | ベローズシール | 複動 | ボディ:SCS13(SUS304相當(dāng)) ベローズ:SUS316L | 16~80 注) |
XMD/XYD | エア オペレート | ベローズシール Oリングシール | 単動 (N.C.) | ボディ:SCS13(SUS304相當(dāng)) ベローズ:SUS316L | 25~80 |
XMH/XYH | 手動 | ベローズシール | 手動 | ボディ:SCS13(SUS304相當(dāng)) ベローズ:SUS316L | 16~50 注) |